檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "鑽石薄膜".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="奈米鑽石薄膜"
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本論文主要是探討製作不同間距之陣列式奈米鑽石薄膜元件於場發射特性之影響以及不同壓力在氮氣氣體感測特性之影響。本研究中係使用微波電漿化學氣相沉積系統將奈米鑽石薄膜沉積於矽基材上,藉由場發射電子顯微鏡觀…
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本論文主要探討奈米鑽石薄膜藉由不同後處理方式以及摻雜氮與未摻雜之特性分析,並使用EGFET架構應用於氫離子感測器,後續進行pH靈敏度量測以及探討靈敏度與奈米鑽石薄膜之間的關聯性。 實驗內容主要是…